TIGEROPTICS水分分析仪HALO KA MAX

深圳市广思科技有限公司为您提供tigeroptics水分分析仪halo ka max。随着irds驱动半导体行业发展，使其发展越过摩尔定律并逐渐明确未来十年的发展需求。tiger optics的halo ka max系列将迎接来自未来的挑战。
采用tiger optics久经客户验证，基于时间的光腔衰荡光谱技术，分析仪性能稳定、无漂移且快速响应。您可以稳定、快速地分析验证大宗气体中低于1ppb的h2o、ch4、和nh3等杂质组分。
the halo ka max基于tiger optics分析平台,拥有分析速度，紧凑的设计理念，进一步全面提升仪器的易用性。您会发现我们的系统非常容易安装、快速便捷、维护量极少并且内置零点验证功能。halo ka max系列于半导体制程工艺所需的大宗气体和特殊气体中的痕量杂质分析。通过将halo ka max分析仪与halo ok ppt级的氧气分析仪联合使用，同时对两种关键污染物分析控制，您将充分体会到我们光腔衰荡光谱技术crds的诸多优势。

tigeroptics水分分析仪halo ka max性能
精度1σ，取较大值± 0.75% 或参见下表
准确度取较大值±4％或ldl
响应速度小于2分钟至95% (分析h2o/nh3)小于1分钟至95% (分析ch4)
环境条件10℃至40℃
相对湿度30％至80％无凝液
贮存温度-10℃至50℃
tigeroptics水分分析仪halo ka max气体处理系统和条件
气体连接1/4”vcr
泄漏测试1 x 10-9 mbar l / sec
气体入口压力10 125 psig (1.7 9.6 bara)
气体流速~2 slpm 氮气下取决于气体
样气参见下表
气体温度小于60℃





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